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EDI超纯水设备助力集成电路产业稳健运行

文章来源：莱特莱德责任编辑：莱特莱德发表时间：2026-03-04 09:18:17

　　经济发展使集成电路设计对水质要求不断提高，生产需用超纯水保障性能。未来，集成电路制造商数量和产能的增加，将推动行业对超纯水的需求，包括用量增长及因高精度制造而产生的纯度、稳定性提升需求。

　　混床离子交换技术一直作为超纯水制备的标准工艺，在超纯水生产中应用广泛。然而，由于其需要周期性的再生且再生过程中消耗大量的化学药品(酸碱)和工业纯水，并造成一定的环境问题，因此需要开发无酸碱超纯水系统。

　　传统的离子交换已经越来越无法满足现代工业和环保的需求，于是将膜、树脂和电化学原理相结合的EDI技术成为水处理技术的一场革命。其离子交换树脂的再生使用的是电能，而不再需要酸碱，因而更满足于当今环保要求。

　　EDI设备是应用在反渗透系统之后，取代传统的混床离子交换技术生产稳定的超纯水。超纯水系统是将反渗透水处理设备、EDI设备和抛光混床相结合制备超纯水的设备。这不仅是一种制备超纯水的新技术，也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺。

　　EDI超纯水设备可连续稳定生产优质超纯水，不会因树脂再生而停止运行。设备结构设计紧凑，占地面积小，可为企业节省大量空间。与传统方法相比，超纯水设备具有许多优点，可以连续稳定地制备高质量的超纯水。