(一)、电子半导体行业用超纯水设备对水质的要求

　　微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。

　　(二)、电子半导体行业用超纯水设备适用场合

　　1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路。

　　2、LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏。

　　3、高品质显像管、萤光粉生产。

　　4、半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗。

　　5、超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料。

　　6、实验室和中试车间。

　　7、汽车、家电表面抛光处理。

　　8、光电产品。

　　9、其他高科技精微产品。

　　(三)、电子半导体行业用超纯水设备制备工艺

　　1、预处理-反渗透-水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象

　　2、预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象

　　3、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象

　　4、预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制抛光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象

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